接地電阻柜微小機械敏感器
發(fā)布人：管理員 發(fā)布時間：2014-5-19
接地電阻柜微小機械敏感器近來有把傳感器與機構部件結合為一體的發(fā)展動向，它將特別適合在機器人上使用。
有人設想，在一塊半導體硅基片上不僅做上了傳感器和電子電路，而且做上機械元件，使之一體化。這種新型器件的制造技術是利用硅晶體的生長速度的各向導性和雜技分布的異存性，在硅片上打孔、劃溝，以及作出錐形、半球形等各種形狀的機械部件，可以制成閥門、棱鏡、平鏡、噴嘴、插塞、打字頭等。這種方法可以做出力、壓力、加速度、化學氣氛濃度等的傳感器。這種器件在化學分析方面有獨到之處，例如，可以把復雜的氣體色譜儀作在一個硅片上，在2英寸直徑的一塊硅片上不僅做上檢測元件，而且做上了1.5米長的色譜柱和取樣裝置。
最近研制了一種用五個這種色譜分析傳感器與微處理機相組合，做成便攜式微型氣體色譜儀。五個色譜柱具有不同的特性，組合起來能分析約一百種氣體。它在大氣分析、化工氣相分析方面有廣泛的用途。
今后，溫度傳感器、壓力傳感器等種種不同的傳感器復合為一體，并與集成電路做在一塊，使信號數(shù)字化，甚至與機械部件做在一起，這種就能有效地完成自動化控制的任務。
有人設想，在一塊半導體硅基片上不僅做上了傳感器和電子電路，而且做上機械元件，使之一體化。這種新型器件的制造技術是利用硅晶體的生長速度的各向導性和雜技分布的異存性，在硅片上打孔、劃溝，以及作出錐形、半球形等各種形狀的機械部件，可以制成閥門、棱鏡、平鏡、噴嘴、插塞、打字頭等。這種方法可以做出力、壓力、加速度、化學氣氛濃度等的傳感器。這種器件在化學分析方面有獨到之處，例如，可以把復雜的氣體色譜儀作在一個硅片上，在2英寸直徑的一塊硅片上不僅做上檢測元件，而且做上了1.5米長的色譜柱和取樣裝置。
最近研制了一種用五個這種色譜分析傳感器與微處理機相組合，做成便攜式微型氣體色譜儀。五個色譜柱具有不同的特性，組合起來能分析約一百種氣體。它在大氣分析、化工氣相分析方面有廣泛的用途。
今后，溫度傳感器、壓力傳感器等種種不同的傳感器復合為一體，并與集成電路做在一塊，使信號數(shù)字化，甚至與機械部件做在一起，這種就能有效地完成自動化控制的任務。
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